Mini/Micro LED Overlay量测设备
Mini/Micro LED Overlay Metrology Tool
套刻误差是指在集成电路制造工艺中,不同层图形之间的相对位置偏差。在硅基OLED(MicroOLED)的制造过程中,每一层图形的曝光都需要与前一层图形精确对准,以确保电路连接的可靠性和功能实现。硅基OLED制造工艺中的套刻误差是一个关键的技术参数,它直接关系到产品的质量和性能。通过采用高精度套刻误差量测设备和对准修正软件等措施,可以有效地控制套刻误差,提高产品的良品率和性能。